一、電磁閥閥芯檢漏原因:

    由于半導(dǎo)體工業(yè)上用的氣體如硅烷(SiH4),氨氣(NH3)等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對(duì)所用的閥及相關(guān)部件,漏率要求非常嚴(yán)格,要求成品*終漏率低于5-10mbarl/s,而這樣的漏率要求也只有氦質(zhì)譜檢漏儀能達(dá)到了.

    二、電磁閥閥芯檢漏方法

    大概的檢測(cè)過程為:來料用放大鏡目視檢測(cè),激光焊接完成后再目視檢測(cè),*后用氦氣質(zhì)譜檢漏儀做*后檢測(cè),漏率值以氦氣檢漏儀測(cè)出的數(shù)據(jù)為準(zhǔn).

    客戶以前用的是日本某品牌的檢漏儀,現(xiàn)在新上的項(xiàng)目都改為德國(guó)Pfeiffer的HLT560這一款檢漏儀,這是因?yàn)?只有德國(guó)Pfeiffer的HLT560能滿足這么高的漏率值測(cè)試,且數(shù)據(jù)可靠.另外還具有操作簡(jiǎn)單,生產(chǎn)效率高的優(yōu)點(diǎn).

    三、電磁閥閥芯檢漏操作說明

    1),先將閥接入工裝,形成一個(gè)密閉的腔體.再將檢漏儀連接到工裝上.

    2),啟動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀,檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時(shí)顯示一個(gè)漏率值.

    3),在激光焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣,同時(shí)觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.

    4),如果漏率值上升,說明噴氦氣的地方有漏,該被檢對(duì)象質(zhì)量不合格.如果漏率值能達(dá)到要求,該被檢對(duì)象合格,檢漏檢測(cè)完成.